江苏维普光电科技有限公司周文彩获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏维普光电科技有限公司申请的专利掩膜版检测光学系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223051206U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422184068.1，技术领域涉及：G01N21/88；该实用新型掩膜版检测光学系统是由周文彩;徐特;刘建明设计研发完成，并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本掩膜版检测光学系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种掩膜版检测光学系统，包括物镜、第一分光镜、第二分光镜、一级管透镜和管镜切换机构；其中，所述物镜、所述第一分光镜、所述一级管透镜、所述管镜切换机构和所述第二分光镜沿检测光路依次布置，所述管镜切换机构中连接有至少两个二级管透镜，所述管镜切换机构用于带动所述二级管透镜移动以切换不同的二级管透镜移动到所述检测光路中，进而使光线穿过所述物镜后经所述第一分光镜透射至所述一级管透镜中然后光线穿过所述一级管透镜和位于所述检测光路中的二级管透镜后射入所述第二分光镜中。本实用新型能够通过切换管透镜来调节光学放大倍数，进而能够对不同线宽的掩膜版进行检测并提高检测的效率。
本实用新型掩膜版检测光学系统在权利要求书中公布了：1.一种掩膜版检测光学系统，其特征在于，包括物镜1、第一分光镜2、第二分光镜3、一级管透镜4和管镜切换机构100； 所述物镜1、所述第一分光镜2、所述一级管透镜4、所述管镜切换机构100和所述第二分光镜3沿检测光路依次布置； 所述管镜切换机构100中连接有至少两个二级管透镜5； 所述管镜切换机构100用于带动所述二级管透镜5移动以切换不同的二级管透镜5移动到所述检测光路中，进而使光线穿过所述物镜1后经所述第一分光镜2透射至所述一级管透镜4中然后光线穿过所述一级管透镜4和位于所述检测光路中的二级管透镜5后射入所述第二分光镜3中。
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