河南锐瓷科技有限公司;巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司李江涛获国家专利权
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龙图腾网获悉河南锐瓷科技有限公司;巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司申请的专利一种用于圆环形工件沉积的工装获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223047590U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422149978.6,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型一种用于圆环形工件沉积的工装是由李江涛;郭琛;魏庆渤;王洋洋;周宣设计研发完成,并于2024-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于圆环形工件沉积的工装在说明书摘要公布了:本实用新型涉及环形工件沉积的领域,具体是一种用于圆环形工件沉积的工装,包括转动组件和沉积组件,沉积组件包括沉积容器、气体管道和沉积支杆,气体管道竖直设置在沉积容器内,气体管道上连接有用于向气体管道内通入气体的通气组件;沉积支杆设置为多个,多个沉积支杆沿气体管道的长度方向分布在气体管道上,沉积支杆用于安装需沉积的工件;气体管道上开通有多个出气孔,多个出气孔沿气体管道的长度方向分布,目的是可以使得沉积容器内各个位置的圆环形工件表面沉积的更加均匀。
本实用新型一种用于圆环形工件沉积的工装在权利要求书中公布了:1.一种用于圆环形工件沉积的工装,其特征是,包括沉积组件,沉积组件包括沉积容器、气体管道和沉积支杆,气体管道竖直设置且一端穿过沉积容器底部进入沉积容器内部,另一端连通有用于向气体管道内通入气体的通气组件,通气组件位于沉积容器外部;沉积支杆设置为多个,多个沉积支杆设置于沉积容器内,并沿气体管道的长度方向安装在气体管道上,沉积支杆用于承载需沉积的工件;气体管道上开通有多个出气孔,多个出气孔沿气体管道的长度方向分布;多个所述出气孔的孔径沿远离通气组件的方向逐渐增大。
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