聚时科技(上海)有限公司颜梦启获国家专利权
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龙图腾网获悉聚时科技(上海)有限公司申请的专利一种晶圆定位装置及晶圆检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223052125U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421763926.1，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种晶圆定位装置及晶圆检测设备是由颜梦启;王理华;陈克信;郑军设计研发完成，并于2024-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆定位装置及晶圆检测设备在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体前道检测技术领域，涉及一种晶圆放置台，尤其是涉及一种晶圆定位装置及晶圆检测设备。通过对从动盘提供外力使从动盘相对固定盘进行旋转运动，并通过从动盘的旋转运动带动多个夹靠件进行相向移动，从而实现对于定位平面的尺寸变化，实现对于待检测晶圆在机台上的转移放置，实现对于晶圆的交接与定位。与现有技术中的竖直方向移动的夹靠件相比，本实施例的夹靠件通过直线运动方式简化了结构设计和加工难度，简化交接和定位的机构动作，提高了交接及定位的准确性和控制精确性。
本实用新型一种晶圆定位装置及晶圆检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆定位装置，其特征在于，包括： 相互连接的且同轴设置固定盘和从动盘，所述从动盘通过外力可相对所述固定盘进行旋转运动； 至少两个处于同平面的夹靠件，且至少两个所述夹靠件通过所述从动盘的旋转运动，可相对所述固定盘中心进行相向移动，形成尺寸可变的定位平面；所述相向移动包括相互靠近运动和相互远离运动。
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