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北京北方华创真空技术有限公司陈辉获国家专利权

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龙图腾网获悉北京北方华创真空技术有限公司申请的专利一种晶棒防坠落装置及单晶炉获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113337882B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110627854.2,技术领域涉及:C30B15/00;该发明授权一种晶棒防坠落装置及单晶炉是由陈辉;黄鸣;常晓鱼设计研发完成,并于2021-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶棒防坠落装置及单晶炉在说明书摘要公布了:本申请涉及单晶硅生产的领域,尤其是涉及一种晶棒防坠落装置及单晶炉,其包括至少两个安装机构和至少两个感应晶棒坠落且阻挡晶棒坠落的自锁机构,所述的自锁机构与安装机构相连接,所述的自锁机构包括感应晶棒坠落的感应组件和夹紧坠落晶棒的夹紧组件,所述的感应组件与夹紧组件活动连接。本申请具有感应组件感应晶棒坠落,夹紧组件对坠落的晶棒夹紧,夹紧组件对晶棒形成自锁,防止晶棒继续坠落,减少了晶棒坠落导致单晶炉损坏和造成人身事故的情况,也使晶棒能够保持完整,减少经济损失的效果。

本发明授权一种晶棒防坠落装置及单晶炉在权利要求书中公布了:1.一种晶棒防坠落装置,其特征在于:包括至少两个安装机构(1)和至少两个感应晶棒(3)坠落且阻挡晶棒(3)坠落的自锁机构(2),所述的自锁机构(2)与安装机构(1)相连接,所述的自锁机构(2)包括感应晶棒(3)坠落的感应组件(21)和夹紧坠落晶棒的夹紧组件(22),所述的感应组件(21)与夹紧组件(22)活动连接; 所述的感应组件(21)包括位于晶棒(3)上方的传感器(211)和对夹紧组件(22)限位的电磁推杆(212),所述的传感器(211)与电磁推杆(212)电连接,所述的电磁推杆(212)位于夹紧组件(22)下方并与夹紧组件(22)活动连接; 所述的夹紧组件(22)包括翻板(221)和至少一个扭簧(222),所述的扭簧(222)的一端与安装机构(1)相连接,其另一端与翻板(221)相连接,翻板(221)靠近晶棒(3)的一端端面为弧形面,两个翻板(221)与夹紧的晶棒(3)形成过盈配合; 所述的安装机构(1)包括圆管(11),所述的圆管(11)的一端延伸至晶棒(3)的生产设备内,其另一端连接有安装件(12),所述的电磁推杆(212)和翻板(221)均安装于安装件(12)靠近晶棒(3)的一面; 所述的安装件(12)靠近晶棒(3)的侧面上设置有U形架(4),所述的翻板(221)远离晶棒(3)的一端延伸至U形架(4)的两个侧壁之间,所述的U形架(4)与翻板(221)上穿插有插杆(5),翻板(221)与插杆(5)转动连接,所述的插杆(5)延伸出U形架(4)侧壁的两端各安装一个所述扭簧(222),扭簧(222)的一端头插接于安装件(12)内,其另一端头插接于翻板(221)的侧边; 所述的电磁推杆(212)位于翻板(221)、U形架(4)的下方并插接于翻板(221)内; 当两个翻板(221)不工作时,翻板(221)处于竖直向上的状态,晶棒(3)坠落,传感器(211)发送晶棒(3)坠落的信号,电磁推杆(212)接收到此信号,控制推杆滑出连接杆(2211)的插接孔,解除对翻板(221)的限位,翻板(221)在重力和扭簧(222)的作用下,由竖直方向向中心方向翻转,两个翻板(221)接触到坠落的晶棒(3),晶棒(3)的下坠力向下,扭簧(222)对翻板(221)施加向上的阻力,从而使扭簧(222)和翻板(221)对坠落的晶棒(3)形成自锁,阻挡其继续坠落,同时由于两个翻板(221)的两个弧面与晶棒(3)形成过盈配合,增加了夹紧组件(22)对晶棒(3)的夹持。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创真空技术有限公司,其通讯地址为:102600 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号1幢401室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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