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恭喜国际商业机器公司J.阿诺德获国家专利权

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龙图腾网恭喜国际商业机器公司申请的专利在线端部形成自对准顶部通孔获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114424320B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080066459.5,技术领域涉及:H01L21/00;该发明授权在线端部形成自对准顶部通孔是由J.阿诺德;A.杜塔;D.梅茨勒;E.A.德西尔瓦设计研发完成,并于2020-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。

在线端部形成自对准顶部通孔在说明书摘要公布了:一种用于制造半导体器件的方法包括:使第一奇数硬掩模和第一偶数硬掩模凹陷,以形成凹陷的奇数和偶数硬掩模;在凹陷的奇数硬掩模上形成第一导电硬掩模,第一导电硬掩模包括第一导电硬掩模材料,在凹陷的偶数硬掩模上形成第二导电硬掩模;以及至少部分地基于第一导电硬掩模和第二导电硬掩模,在对应于第一奇数和偶数导线的线端处形成自对准通孔。

本发明授权在线端部形成自对准顶部通孔在权利要求书中公布了:1.一种用于制造半导体器件的方法,包括: 使第一奇数硬掩模和第一偶数硬掩模凹陷,以形成凹陷的奇数和偶数硬掩模,其中所述凹陷的奇数和偶数硬掩模各自具有低于相邻替换层的顶面的顶面; 在所述凹陷的奇数硬掩模上形成第一导电硬掩模,所述第一导电硬掩模包括第一导电硬掩模材料,并且在所述凹陷的偶数硬掩模上形成第二导电硬掩模;以及 至少部分地基于所述第一导电硬掩模和所述第二导电硬掩模,在对应于第一奇数和偶数导线的线端处形成自对准顶部通孔。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人国际商业机器公司,其通讯地址为:美国纽约阿芒克;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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