新毅东(北京)科技有限公司张琪获国家专利权
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龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利一种用于掩模板的快速预对准装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119960275B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510443980.0，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权一种用于掩模板的快速预对准装置及方法是由张琪;符友银;陈钰思阳;崔钹设计研发完成，并于2025-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于掩模板的快速预对准装置及方法在说明书摘要公布了：本申请涉及光刻设备技术领域，具体涉及一种用于掩模板的快速预对准装置及方法。装置包括上位机、逻辑控制器、传感器以及执行器；传感器通过对掩模板进行检测得到数字输入信号，并将数字输入信号分别上传至逻辑控制器与上位机；逻辑控制器根据接收的数字输入信号使得执行器对掩模板执行动作；逻辑控制器接收上位机发送的验证数字信号，并对数字输出信号与验证数字信号进行比对，当比对结果不一致，逻辑控制器中断对执行器的下一动作控制，并向上位机反馈中断信号。本申请在上位机的延时状态中通过逻辑控制器能够实现快速响应完成对执行器的控制，从而提升掩模板的预对准处理效率。
本发明授权一种用于掩模板的快速预对准装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于掩模板的快速预对准装置，其特征在于，包括上位机、能够对传感器信号进行状态锁存的逻辑控制器、传感器以及执行器；所述传感器分别与上位机、逻辑控制器电连接；所述逻辑控制器分别与执行器以及上位机电连接； 所述传感器通过对掩模板执行气浮与吸附动作所满足的气路压力信息、掩模板的位置信息及条码信息进行检测得到数字输入信号，并将数字输入信号分别上传至逻辑控制器与上位机； 所述上位机根据接收的所述数字输入信号确定所述传感器正常工作，并向所述逻辑控制器发送验证数字信号； 所述逻辑控制器根据接收的所述数字输入信号向所述执行器发送数字输出信号，使得所述执行器对掩模板执行动作；并且，所述逻辑控制器接收所述上位机发送的验证数字信号，并对所述数字输出信号与验证数字信号进行比对，当比对结果不一致，所述逻辑控制器中断对执行器的下一动作控制，并向上位机反馈中断信号。
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