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拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司梁彬彬获国家专利权

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龙图腾网获悉拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利自动收线装置、反应腔及薄膜沉积设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223060419U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422437747.5,技术领域涉及:B65H75/48;该实用新型自动收线装置、反应腔及薄膜沉积设备是由梁彬彬;吴凤丽;张闯闯;张佳琦;高鑫洲;董礼;王前程设计研发完成,并于2024-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。

自动收线装置、反应腔及薄膜沉积设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种自动收线装置、反应腔及薄膜沉积设备,反应腔包括腔体、盖板、喷淋板和自动收线装置,自动收线装置设置在腔体上,该自动收线装置包括:底座;收线件,可转动地设于底座上;测温元件,包括线缆、连接部和感温部,连接部和感温部分别设于线缆的两端,连接部用于与盖板连接,感温部用于与喷淋板连接,线缆绕设于收线件的外周且被拉伸时带动收线件转动;回转件,设于收线件内,回转件适于向收线件提供回转力带动收线件反向转动以使线缆卷绕于收线件。通过自动收线装置可以自动调整线缆的长度,开腔时可以伸长,关腔时可以缩短,避免了在关腔时线缆搭接到喷淋板的加热环上。

本实用新型自动收线装置、反应腔及薄膜沉积设备在权利要求书中公布了:1.一种自动收线装置,其特征在于,应用于反应腔,所述自动收线装置包括: 底座; 收线件,可转动地设于所述底座上; 测温元件,包括线缆、连接部和感温部,所述连接部和所述感温部分别设于所述线缆的两端,所述连接部用于与盖板连接,所述感温部用于与喷淋板连接,所述线缆绕设于所述收线件的外周且被拉伸时带动所述收线件转动; 回转件,设于所述收线件内,所述回转件适于向所述收线件提供回转力带动所述收线件反向转动以使所述线缆卷绕于所述收线件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司,其通讯地址为:110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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