恭喜乐金显示光电科技(中国)有限公司周向阳获国家专利权
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龙图腾网恭喜乐金显示光电科技(中国)有限公司申请的专利CVD膜沉积装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223061074U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422275519.2,技术领域涉及:C23C16/04;该实用新型CVD膜沉积装置是由周向阳设计研发完成,并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本CVD膜沉积装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于薄膜制造技术领域,公开了一种CVD膜沉积装置,包括遮挡框,遮挡框是矩形框体结构,遮挡框包括遮挡杆,遮挡杆至少设置有四根,每根遮挡杆的两端是斜面,相邻的两根所述遮挡杆呈L型布置且端部相互抵接,四根遮挡杆均处于同一水平面内并遮挡于基板的上方,四根遮挡杆至少具有第一位置和第二位置,处于第一位置时,相邻的遮挡杆的端部相互抵接,处于第二位置时,相邻的遮挡杆的端部之间存在间隙。CVD膜沉积装置通过将矩形框体结构的遮挡板,自遮挡板的四角处进行分割,以形成四根遮挡杆,四根遮挡杆也能够围合成矩形框对非成膜区域进行遮挡,遮挡杆相较于遮挡框不易于产生形变,能够确保非成膜数据,提高成膜品质。
本实用新型CVD膜沉积装置在权利要求书中公布了:1.CVD膜沉积装置,包括遮挡框,所述遮挡框是矩形框体结构,其特征在于,所述遮挡框包括遮挡杆,所述遮挡杆至少设置有四根,每根所述遮挡杆的两端是斜面,相邻的两根所述遮挡杆呈L型布置且端部相互抵接,四根所述遮挡杆均处于同一水平面内并遮挡于基板的上方; 其中,四根所述遮挡杆至少具有第一位置和第二位置; 各所述遮挡杆处于第一位置时,相邻的所述遮挡杆的端部相互抵接,以围合成基板的成膜区域; 各所述遮挡杆处于第二位置时,相邻的所述遮挡杆的端部之间存在间隙,以围合成基板的放置区域。
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