桂林雷光科技有限公司廖秋林获国家专利权
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龙图腾网获悉桂林雷光科技有限公司申请的专利一种芯片制造蚀刻设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223066126U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422090162.0,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种芯片制造蚀刻设备是由廖秋林;易志锋;方旭凯设计研发完成,并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种芯片制造蚀刻设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及芯片制造技术领域,公开了一种芯片制造蚀刻设备,包括蚀刻加工板,所述蚀刻加工板的正面固定连接有第一抽拉杆,所述蚀刻加工板的顶端焊接有产品限位框架;所述蚀刻加工板的后端固定连接有第一固定杆。本实用新型通过设置蚀刻加工板内部的第一固定杆和第二固定杆配合第一防偏轮和第二防偏轮当蚀刻加工板和产品限位框架的内部放置需要蚀刻的产品时,由第一防偏轮和第二防偏轮在第一固定杆和第二固定杆的表面进行转动时,可以避免蚀刻加工板在传送装置上产生跑偏,影响蚀刻设备对蚀刻加工板和产品限位框架内部放置的产品的蚀刻效果,影响设备对产品的加工效率。
本实用新型一种芯片制造蚀刻设备在权利要求书中公布了:1.一种芯片制造蚀刻设备,包括蚀刻加工板1,所述蚀刻加工板1的正面固定连接有第一抽拉杆2,所述蚀刻加工板1的顶端焊接有产品限位框架3; 其特征在于,所述蚀刻加工板1的后端固定连接有第一固定杆5,所述第一固定杆5的表面转动连接有第一防偏轮6,所述蚀刻加工板1的内部固定连接有第二固定杆7,所述第二固定杆7的表面转动连接有第二防偏轮8,所述蚀刻加工板1的内部开设有转动槽12,所述转动槽12的内部螺纹连接有旋转杆10,所述旋转杆10的顶端焊接有转动环9,所述旋转杆10的底端固定连接有限位板11,所述蚀刻加工板1的底端固定连接有限位环13,所述限位环13的内部焊接有弹簧14。
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