深圳市矩阵多元科技有限公司孙守祥获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种加热器及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223067215U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422078104.6，技术领域涉及：H05B3/12；该实用新型一种加热器及半导体设备是由孙守祥;凌日康;李炳坤;张晓军;张始灵设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种加热器及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了加热器及半导体设备，属于半导体镀膜技术领域，加热器包括发热盘和加热丝，所述盘体采用陶瓷材料制成，所述加热丝采用铂铑合金材料制成。本实用新型的加热丝采用铂铑合金、盘体采用陶瓷材料，都能够耐受1000℃的高温，并且均具有出色的耐氧化性，因此能够有效满足高温有氧环境下的作业需求。同时，本实用新型中的发热盘由多个盘体拼接形成，能够有效避免陶瓷高温开裂的情况，从而确保在应用于半导体镀膜生产中，应对高温富氧环境下的使用寿命。并且，加热丝嵌在发热盘的燕尾槽内，在发热盘朝向下方时，可以避免加热丝脱出。
本实用新型一种加热器及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种加热器，其特征在于，包括： 发热盘，所述发热盘由至少两个盘体拼接形成，所述发热盘包括第一端面和第二端面，自所述第一端面向所述第二端面的方向，所述发热盘设置有燕尾槽； 加热丝，所述加热丝嵌于所述燕尾槽内； 其中，所述盘体采用陶瓷材料制成，所述加热丝采用铂铑合金材料制成。
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