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星钥半导体(武汉)有限公司请求不公布姓名获国家专利权

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龙图腾网获悉星钥半导体(武汉)有限公司申请的专利保持器、抛光头组件及抛光设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223057442U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421738908.8,技术领域涉及:B24B37/30;该实用新型保持器、抛光头组件及抛光设备是由请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。

保持器、抛光头组件及抛光设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种保持器、抛光头组件及抛光设备,保持器包括背膜,其中,保持器还包括支架和驱动单元,驱动单元安装在支架上,驱动单元的驱动端与背膜连接,背膜与支架的底部之间形成晶圆安置位,驱动单元可驱动背膜在背膜的法向上相对支架的底部移动。抛光头组件设有上述保持器,抛光设备包括上述抛光头组件,保持器可适用于不同晶圆厚度,有利于降低生产成本,提高生产效率。

本实用新型保持器、抛光头组件及抛光设备在权利要求书中公布了:1.保持器,包括背膜,其特征在于,保持器还包括保持架,所述保持架包括: 支架; 驱动单元,所述驱动单元安装在所述支架上,所述驱动单元的驱动端与背膜连接,所述背膜与所述支架的底部之间形成晶圆安置位,所述驱动单元可驱动所述背膜在所述背膜的法向上相对所述支架的底部移动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人星钥半导体(武汉)有限公司,其通讯地址为:430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来科技城龙山南街6号展想新思中心1号楼8楼808单元;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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