长鑫存储技术有限公司吴雨祥获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利监测机台运行状况的方法及装置、存储介质及电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114551271B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011294106.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权监测机台运行状况的方法及装置、存储介质及电子设备是由吴雨祥;王莉莉设计研发完成，并于2020-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本监测机台运行状况的方法及装置、存储介质及电子设备在说明书摘要公布了：本公开提供了一种监测机台运行状况的方法及装置、存储介质及电子设备，属于半导体技术领域。该方法包括：实时监测产品制备工艺过程，获取监控数据集；根据所述监控数据集，提取机台异常数据点；对所述机台异常数据点进行筛选，获得目标异常数据点；预设所述目标异常数据点对应的数量阈值；根据所述目标异常数据点的数量及所述数量阈值，判断是否产生报警信号。该方法以机台目标异常数据点为基础，确定机台报警标准，通过报警信号体现机台的运行状况，直观地给出机台运行状况信息，有利于工程师快速找出异常原因，从而提高排除异常效率，使整个过程及时达到可控状态。
本发明授权监测机台运行状况的方法及装置、存储介质及电子设备在权利要求书中公布了：1.一种监测机台运行状况的方法，用于产品制备工艺过程监控，其特征在于，包括： 实时监测产品制备工艺过程，获取监控数据集； 根据所述监控数据集，提取机台异常数据点； 对所述机台异常数据点进行筛选，获得目标异常数据点； 预设所述目标异常数据点对应的数量阈值； 根据所述目标异常数据点的数量及所述数量阈值，判断是否产生报警信号； 根据所述监控数据集，提取机台异常数据点包括： 根据所述监控数据集，提取产品制备工艺过程中的异常数据点； 根据所述产品制备工艺过程中的异常数据点，以机台为单位进行提取，获得所述机台异常数据点。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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