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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利气体递送系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114846595B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080088501.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权气体递送系统和方法是由D·凯德拉亚;阮芳;黄祖滨;G·巴拉苏布拉马尼恩;K·阿拉亚瓦里;M·西蒙斯;K·李;R·纳拉亚南;K·嘉纳基拉曼设计研发完成，并于2020-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本气体递送系统和方法在说明书摘要公布了：一种系统可以包括：主线路，用于递送第一气体；以及传感器，用于测量被递送通过主线路的第一气体中的前驱物的浓度。系统可以进一步包括：第一子线路和第二子线路，分别用于提供通往第一处理腔室和第二处理腔室的流体通路。第一子线路可以包括：第一流量控制器，用于控制流动通过第一子线路的第一气体。第二子线路可以包括：第二流量控制器，用于控制流动通过第二子线路的第一气体。可以将递送控制器配置为基于前驱物的测量到的浓度来控制第一流量控制器和第二流量控制器，以将第一气体与第二气体的第一混合物和第一气体与第二气体的第二混合物分别递送到第一半导体处理腔室和第二半导体处理腔室中。

本发明授权气体递送系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种方法，包括以下步骤： 使包括前驱物和稀释气体的第一气体流动通过第一递送主线路，其中所述第一递送主线路与所述第一递送主线路的下游的第一递送子线路和第二递送子线路流体耦接，所述第一递送子线路被配置为提供从所述第一递送主线路到第一半导体处理腔室的流体通路，所述第二递送子线路被配置为提供从所述第一递送主线路到第二半导体处理腔室的流体通路； 使所述第二气体流动通过第二递送主线路，其中所述第二递送主线路与所述第二递送主线路的下游的第三递送子线路和第四递送子线路流体耦接，所述第三递送子线路被配置为提供从所述第二递送主线路到所述第一半导体处理腔室的流体通路，所述第四递送子线路被配置为提供从所述第二递送主线路到所述第二半导体处理腔室的流体通路； 测量被递送通过所述第一递送主线路的所述第一气体中所含有的所述前驱物的浓度； 至少部分地基于所述前驱物的测量到的所述浓度来调整被递送通过所述第一递送子线路的所述第一气体的第一流速； 至少部分地基于所述前驱物的测量到的所述浓度来调整被递送通过所述第二递送子线路的所述第一气体的第二流速； 根据第一配方设定点向所述第一半导体处理腔室递送被递送通过所述第一递送子线路的所述第一气体与包括所述稀释气体的第二气体的第一混合物；以及 根据第二配方设定点向所述第二半导体处理腔室递送被递送通过所述第二递送子线路的所述第一气体与所述第二气体的第二混合物，其中同时分别向所述第一半导体处理腔室和所述第二半导体处理腔室递送所述第一混合物和所述第二混合物， 其中： 递送被递送通过所述第一递送子线路的所述第一气体与所述第二气体的所述第一混合物包括以下步骤：递送被递送通过所述第一递送子线路的所述第一气体与被递送通过所述第三递送子线路的所述第二气体的所述第一混合物；以及 递送被递送通过所述第二递送子线路的所述第一气体与所述第二气体的所述第二混合物包括以下步骤：递送被递送通过所述第二递送子线路的所述第一气体与被递送通过所述第四递送子线路的所述第二气体的所述第二混合物。

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