恭喜杭州士兰微电子股份有限公司汪建平获国家专利权
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龙图腾网恭喜杭州士兰微电子股份有限公司申请的专利扭矩传感器及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112079327B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010920299.8,技术领域涉及:B81B7/04;该发明授权扭矩传感器及其制造方法是由汪建平;邓登峰设计研发完成,并于2020-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本扭矩传感器及其制造方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种扭矩传感器及其制造方法,包括衬底;外延层,位于所述衬底上;多个第一掺杂区和多个第二掺杂区,分别位于所述外延层中;多个第一欧姆接触区,位于所述第一掺杂区的两端;多个第二欧姆接触区,位于所述第二掺杂区的两端;以及第一隔离结构,位于所述外延层和所述衬底中,包围所述第一掺杂区和第二掺杂区。本发明的扭矩传感器通过额外设置弯矩感测单元,同时获得扭矩感测信号和弯矩信号,采用弯矩信号对扭矩感测信号进行补偿,消除弯矩对扭矩感测信号的影响,可以提高测量的扭矩值的准确度。
本发明授权扭矩传感器及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种扭矩传感器,包括: 衬底; 外延层,位于所述衬底上; 多个第一掺杂区和多个第二掺杂区,分别位于所述外延层中; 多个第一欧姆接触区,位于所述第一掺杂区的两端; 多个第二欧姆接触区,位于所述第二掺杂区的两端;以及 第一隔离结构,位于所述外延层和所述衬底中,包围所述第一掺杂区和第二掺杂区, 其中,多个所述第一掺杂区和所述第一欧姆接触区形成多个第一欧姆接触电阻,所述多个第一欧姆接触电阻构成扭矩感测单元,输出扭矩感测信号;多个所述第二掺杂区和所述第二欧姆接触区形成多个第二欧姆接触电阻,所述多个第二欧姆接触电阻构成弯矩感测单元,输出弯矩感测信号。
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