恭喜美商新思科技有限公司R·M·鲁格获国家专利权
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龙图腾网恭喜美商新思科技有限公司申请的专利基于由人工神经网络预测的失效模式应用掩模版增强技术方案获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114222993B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080057283.7,技术领域涉及:G06F30/367;该发明授权基于由人工神经网络预测的失效模式应用掩模版增强技术方案是由R·M·鲁格;J·A·希瑟洛特设计研发完成,并于2020-08-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于由人工神经网络预测的失效模式应用掩模版增强技术方案在说明书摘要公布了:对于光刻掩模布局验证,针对一组设计意图中的每个设计意图通过标识在制造设计意图时预期出现的一组失效并且记录该组失效中的每个失效的失效模式和位置来收集训练数据。接下来,训练数据被用于训练机器学习模型、例如人工神经网络,以预测失效的失效模式和位置。然后,使用经训练的机器学习模型来预测针对给定设计意图的一组失效。接下来,对于每个所预测的失效,可以基于失效的失效模式选择掩模版增强技术RET方案,并且所选择的RET方案可以被应用于失效的位置周围的区域。
本发明授权基于由人工神经网络预测的失效模式应用掩模版增强技术方案在权利要求书中公布了:1.一种用于集成电路设计的方法,包括: 针对一组设计意图中的每个设计意图,通过以下项收集训练数据: 标识在所述设计意图被制造时预期出现的一组失效,并且 记录所述一组失效中的每个失效的失效模式和位置,其中 为每个失效模式创建单独的设计层,以标记属于所述失效模式的失效的位置;以及 由处理器使用所述训练数据来训练神经网络,以预测针对第一设计意图的失效的失效模式和位置,所述第一设计意图与所述一组设计意图中的设计意图不同。
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