恭喜株式会社日立高新技术福田真大获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社日立高新技术申请的专利带电粒子枪以及带电粒子束系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115428114B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080099514.0,技术领域涉及:H01J3/02;该发明授权带电粒子枪以及带电粒子束系统是由福田真大;糟谷圭吾;荒井纪明设计研发完成,并于2020-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本带电粒子枪以及带电粒子束系统在说明书摘要公布了:本发明提供能够抑制引出电极中的不均匀的温度分布的电子枪901以及测长SEM900。电子枪901具备:带电粒子源1;引出电极3,其从带电粒子源1引出带电粒子,并且使带电粒子的一部分通过,遮蔽带电粒子的另一部分;以及辅助结构5,其与引出电极3接触。测长SEM900具备上述的电子枪901和控制电子枪901的计算机系统920。
本发明授权带电粒子枪以及带电粒子束系统在权利要求书中公布了:1.一种带电粒子枪,其特征在于,具备: 带电粒子源; 引出电极,其从所述带电粒子源引出带电粒子,并且使所述带电粒子的一部分通过,遮蔽所述带电粒子的另一部分;以及 连续的传热结构,其是与所述引出电极不同的连续的传热结构,其在所述引出电极的外侧,相对于从所述带电粒子源引出的所述带电粒子的行进方向,与所述引出电极的至少包含朝向行进方向的垂直的面和平行于行进方向的面的两个面以上接触。
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