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龙图腾网获悉素珀电子科技(上海)有限公司申请的专利一种半导体晶圆动态定心装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120048780B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510510400.5，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种半导体晶圆动态定心装置是由常志勇;张贵东;孟君燕;侯双明设计研发完成，并于2025-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体晶圆动态定心装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体晶圆动态定心装置，包括：旋转承托件，包括同轴设置的吸盘部和旋转轴，吸盘部上表面设有真空吸附区，吸盘部和所述旋转轴内开设有贯通的气体通道；动密封组件，包括密封筒体，其轴向中心位置具有导气部，沿导气部的内侧边缘向内渐扩延伸形成相互对称的第一密封部和第二密封部，第一密封部和第二密封部在自由状态下与旋转轴外壁径向过盈接触以形成双侧的动态密封界面；驱动对准组件，用于驱动旋转承托件的吸盘部与晶圆对心；二次密封件，用于二次密封导气部；其中，第一密封部、第二密封部和旋转轴的内壁围合形成环状气体缓冲腔。采用上述方案提高晶圆在对心的过程中的吸附稳定性避免掉片并降低噪音。

本发明授权一种半导体晶圆动态定心装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆动态定心装置，其特征在于，包括： 旋转承托件（100），包括同轴设置的吸盘部（101）和旋转轴（102），所述吸盘部（101）上表面设有用于吸附晶圆的真空吸附区（103），所述吸盘部（101）和所述旋转轴（102）内开设有贯通的气体通道，所述气体通道与真空吸附区（103）连通； 动密封组件（200），套设于所述旋转轴（102）外周并与所述旋转轴（102）形成相对转动副，所述动密封组件（200）包括密封筒体（201），所述密封筒体（201）的轴向中心位置具有导气部（202），沿所述导气部（202）的内侧边缘向内渐扩延伸形成相互对称的第一密封部（203）和第二密封部（204），所述第一密封部（203）和第二密封部（204）在自由状态下与旋转轴（102）外壁径向过盈接触以形成双侧的动态密封界面； 驱动对准组件，用于驱动所述旋转承托件（100）的吸盘部（101）与晶圆对心，包括平移块（300），所述密封筒体（201）与所述平移块（300）固定连接； 二次密封件（400），套设在所述密封筒体（201）与所述动密封组件（200）之间，用于二次密封所述导气部（202）； 其中，所述第一密封部（203）、第二密封部（204）和所述旋转轴（102）的内壁围合形成环状气体缓冲腔（205）；所述动密封组件（200）在装配后，所述第一密封部（203）和所述第二密封部（204）产生弹性形变以保持与所述旋转轴（102）的动态密封界面。

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