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龙图腾网获悉上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利工艺进流系统、工艺进流控制方法及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120006258B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510481844.0，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权工艺进流系统、工艺进流控制方法及半导体工艺设备是由沈康;涂乐义;梁洁;王兆祥;周正;李可;吴可学;董淑瑜设计研发完成，并于2025-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本工艺进流系统、工艺进流控制方法及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本公开涉及半导体处理技术领域，提供工艺进流系统、工艺进流控制方法及半导体工艺设备。工艺进流系统包括管路系统和控制单元，管路系统包括第一管路单元及第二管路单元；第一管路单元包括第一支路、第一输出干路以及第一预置管路；第二管路单元包括第二支路、第二输出干路以及第二预置管路；所述控制单元控制管路系统交替地执行第一反应流体第二反应流体对反应腔的脉冲式的进流动作，包括：控制第一第二支路处于预流状态；控制第一第二支路处于充压状态；控制第一第二反应流体的脉冲输出；控制第一第二支路恢复所述预流状态。通过精确控制两部分管路单元交替执行第一第二反应流体进流动作，达到良好处理效果。

本发明授权工艺进流系统、工艺进流控制方法及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种工艺进流系统，其特征在于，包括： 管路系统，包括：第一管路单元及第二管路单元；第一管路单元包括第一支路、与第一支路输出端连接的第一输出干路、以及第一预置管路；第二管路单元包括第二支路、与第二支路的输出端连接的第二输出干路、以及第二预置管路；第一输出干路和第二输出干路连接反应腔进口；第一支路的输入端和第二支路的输入端分别通入用于反应的第一反应流体和第二反应流体；第一支路从输入端向输出端依次设置有第一质量流量控制器及第一支路阀；第二支路从输入端向输出端依次设置有第二质量流量控制器及第二支路阀；第一预置管路的输入端连接在第一质量流量控制器及第一支路阀之间，并设有第一预置阀；第二预置管路的输入端连接在第二质量流量控制器及第二支路阀之间，并设有第二预置阀； 控制单元，用于控制管路系统循环执行预设工艺步骤；在所述预设工艺步骤中，第一管路单元及第二管路单元之间交替地执行第一反应流体第二反应流体对反应腔的脉冲式的进流动作，包括：控制第一第二预置阀导通及第一第二支路阀关闭以令第一第二支路处于预流状态；控制第一第二预置阀及第一第二支路阀关闭以令第一第二支路处于充压状态；保持第一第二输出干路导通，控制第一第二支路阀打开以执行第一第二反应流体的脉冲输出；先后控制第一第二支路阀的关闭及第一第二预置管路打开，以供吹扫并为下一次脉冲输出作准备。

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