上海邦芯半导体科技有限公司唐乐获国家专利权
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龙图腾网获悉上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利用于等离子体处理设备的进气系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119920675B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510421523.1，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权用于等离子体处理设备的进气系统是由唐乐;王兆祥;梁洁;涂乐义;李可;张朋兵;彭国发设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于等离子体处理设备的进气系统在说明书摘要公布了：本公开涉及等离子体处理技术领域，提供用于等离子体处理设备的进气系统，包括：第一输入管路和第二输入管路，用于输入液态的被混合物和待混合物；混合腔，用于混合被混合物及待混合物为共沸物并输出；其中，所述混合液的沸点低于被混合物的沸点，并能形成共沸物；加热器，对应混合腔设置，加热混合腔中的共沸物至沸腾以形成混合蒸气；分离单元，用于分离混合蒸气中的被混合物蒸气和待混合物，并于第一进气管路输出被混合物蒸气至等离子体处理设备的反应腔。由此，通过本公开方案只需要加热达到满足降低后沸点的加热温度即可，相比于相关技术中的加热高温而言大幅度降低温度，节能减耗。
本发明授权用于等离子体处理设备的进气系统在权利要求书中公布了：1.一种用于等离子体处理设备的进气系统，其特征在于，包括： 第一输入管路，具有用于输入液态的被混合物的第一输入口； 第二输入管路，具有用于输入液态的待混合物的第二输入口； 混合腔，与所述第一输入管路和第二输入管路可通断地连接，用于混合所述被混合物及待混合物为混合液；其中，所述混合液的沸点低于被混合物的沸点，并且当所述被混合物和待混合物的比例满足特定比例时，能令所述混合液成为具有共沸点的共沸物； 加热器，对应所述混合腔设置，加热所述混合腔中的混合液至沸腾以形成混合蒸气； 分离单元，管路连通于所述混合腔，用于分离所述混合蒸气中的被混合物蒸气和待混合物，并于第一进气管路输出被混合物蒸气至等离子体处理设备的反应腔；所述分离单元连通于回收管路，所述回收管路可通断地连接于所述第二输入管路，以供输出所述待混合物至第二输入管路以循环利用。
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