北京量子信息科学研究院武诗瑶获国家专利权
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龙图腾网获悉北京量子信息科学研究院申请的专利一种应力作用下薄膜铁电方向探测装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119555646B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510099286.1,技术领域涉及:G01N21/63;该发明授权一种应力作用下薄膜铁电方向探测装置及方法是由武诗瑶;王洁素;苗起源;常凯设计研发完成,并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应力作用下薄膜铁电方向探测装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种应力作用下薄膜铁电方向探测装置主要由以下几个模块组成:激发光模块:用于入射基频光的偏振初始化、调控及杂散光过滤。包含激发光源‑飞秒脉冲激光器,用于产生合适频率的入射激发光束;包含偏振片,用于对入射光的偏振进行初始化;包含透镜A,用于将入射激光聚焦到待测样品上;包含电动控制的可旋转的二分之一波片,用于对入射光的偏振进行调控。本发明利用非线性光学探测应力下的薄膜铁电方向,并提供了相应的测试系统及方法,不仅克服了现有测量技术中对环境的高敏感,样品准备流程困难等问题,还解决了样品在测量过程中破坏无法进一步进行研究等问题。
本发明授权一种应力作用下薄膜铁电方向探测装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种应力作用下薄膜铁电方向探测装置,其特征在于,包括激发光模块(1)、成像模块(2)、压力模块(3)和信号接收模块(4);所述激发光模块(1)、成像模块(2)、压力模块(3)和信号接收模块(4)协同工作,以实现对应力作用下薄膜铁电方向的非接触式、高精度探测; 所述激发光模块(1)用于产生特定频率和能量的入射光,并对其偏振进行精确调控以及过滤杂散光,确保入射光满足薄膜铁电方向探测的需求; 所述成像模块(2)用于对样品表面进行高分辨率成像,以辅助确定测量区域,并实时监测应力作用下样品表面形貌的变化,该变化与铁电方向的演变相关联; 所述压力模块(3)包括应力施加样品座(46),应力施加样品座(46)上安装有四个位移台(47),利用位移台(47)的移动实现样品的拉伸,从而向样品施加可控的双轴应力,且能在施加应力过程中精细调节样品的测量位置,保持样品位置的稳定性,以准确研究应力与铁电方向之间的关系; 所述信号接收模块(4)用于高效、准确地收集样品在应力和入射光作用下产生的二次谐波信号,该信号是确定铁电方向的关键依据,信号接收模块(4)包括偏振选择元件,所述偏振选择元件为电动控制的可旋转的格兰泰勒棱镜(43),用于筛选二次谐波信号的偏振方向,建立SHG强度与铁电极化方向的依赖关系,避免因转动样品导致测量位置偏移。
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