青岛华芯晶电科技有限公司;青岛芯康半导体科技有限公司郑东获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛华芯晶电科技有限公司;青岛芯康半导体科技有限公司申请的专利用于蓝宝石晶片切割的损伤控制方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119747916B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510099412.3,技术领域涉及:B23K26/38;该发明授权用于蓝宝石晶片切割的损伤控制方法及系统是由郑东;肖燕青;李亚平;王鑫;贾松松设计研发完成,并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于蓝宝石晶片切割的损伤控制方法及系统在说明书摘要公布了:本发明涉及晶片切割分析技术领域,尤其涉及用于蓝宝石晶片切割的损伤控制方法及系统,本发明根据激光切割控制数据和晶棒制作工艺数据分析蓝宝石晶片的预切割状态;根据辅助气体输送数据和蓝宝石晶片的预切割状态分析结果分析辅助气体的预输送状态;根据蓝宝石晶片的晶棒制作工艺数据和崩边数据对激光切割后蓝宝石晶片的崩边风险进行评估;根据蓝宝石晶片的预切割状态分析结果和辅助气体的预输送状态分析结果以及崩边风险评估结果构建蓝宝石晶片崩边风险预测模型,预测待切割蓝宝石晶片的崩边风险;对蓝宝石晶片激光切割工艺进行优化。本发明能够对蓝宝石晶片激光切割工艺进行优化;提高蓝宝石晶片的良率和整体性能。
本发明授权用于蓝宝石晶片切割的损伤控制方法及系统在权利要求书中公布了:1.用于蓝宝石晶片切割的损伤控制方法,其特征在于,包括下述步骤: S1、获取蓝宝石晶片的激光切割控制数据和辅助气体输送数据,同时获取蓝宝石晶片的晶棒制作工艺数据和崩边数据; S2、将激光切割控制数据和晶棒制作工艺数据导入预切割状态分析模型中,分析蓝宝石晶片的预切割状态; S3、将辅助气体输送数据和蓝宝石晶片的预切割状态分析结果导入辅助气体预输送状态分析模型中,分析辅助气体的预输送状态; S4、将蓝宝石晶片的晶棒制作工艺数据和崩边数据导入崩边风险评估模型中,对激光切割后蓝宝石晶片的崩边风险进行评估; S5、根据蓝宝石晶片的预切割状态分析结果和辅助气体的预输送状态分析结果以及崩边风险评估结果构建蓝宝石晶片崩边风险预测模型,用于预测待切割蓝宝石晶片的崩边风险; S6、根据待切割蓝宝石晶片的崩边风险预测结果,对蓝宝石晶片激光切割工艺进行优化。
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