合肥铠膜新材料科技有限公司蔡辉获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥铠膜新材料科技有限公司申请的专利一种PVD真空镀膜机的靶材挡板装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223074243U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422373853.1，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种PVD真空镀膜机的靶材挡板装置是由蔡辉设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PVD真空镀膜机的靶材挡板装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种PVD真空镀膜机的靶材挡板装置，包括固定挡板、摆动气缸、移动挡板、旋转轴和滑槽底座；靶材架中央设置靶材，靶材两边对称设置固定挡板、移动挡板和滑槽底座，移动挡板滑动设置在固定挡板外侧，移动挡板下端与滑槽底座滑动连接，移动挡板上端与靶材架滑动连接；滑槽底座之间滑动设置水平滑杆，水平滑杆下方设置旋转轴，旋转轴下方通过磁流体连接摆动气缸；本实用新型通过设置水平滑杆，使两块移动挡板可以通过一个摆动气缸同步移动，节省了腔室内外侧空间和制造成本，通过设置滑槽底座，固定了移动挡板的移动轨迹，保证了单个摆动气缸控制两侧移动挡板的稳定性，使靶材挡板开关便捷，控制方便。
本实用新型一种PVD真空镀膜机的靶材挡板装置在权利要求书中公布了：1.一种PVD真空镀膜机的靶材挡板装置，包括靶材架1、靶材2、固定挡板4和摆动气缸7，其特征在于，还包括移动挡板3、旋转轴6和滑槽底座8； 所述靶材架1中央设置靶材2，靶材2两边对称设置固定挡板4、移动挡板3和滑槽底座8，移动挡板3滑动设置在固定挡板4外侧，移动挡板3下端与滑槽底座8滑动连接，移动挡板3上端与靶材架1滑动连接； 所述滑槽底座8之间滑动设置水平滑杆5，水平滑杆5下方设置旋转轴6，旋转轴6下方通过磁流体连接摆动气缸7。
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