拓荆科技(上海)有限公司张翔宇获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利抽气件、反应腔及薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223074250U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422371159.6，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型抽气件、反应腔及薄膜沉积设备是由张翔宇;姜彬;吴凤丽;杨华龙;张启辉;高鹏飞;朱晓亮设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本抽气件、反应腔及薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种抽气件、反应腔及薄膜沉积设备，抽气件包括：环形本体和肩部，肩部，环设于所述环形本体的外侧壁，所述肩部上开设有多个第一抽气孔，多个所述第一抽气孔沿所述环形本体的圆周方向分布于所述肩部上，所述第一抽气孔沿所述环形本体的轴向贯穿所述肩部。通过肩部上的第一抽气孔形成可供吹扫气体流通的通道，喷淋板外圆周部分的吹扫气流可以通过第一抽气孔被抽走，吹扫气体与工艺气体两路气流相互独立，减少吹扫气体进入到反应区域，避免了干扰工艺气体，防止对工艺结果造成影响，提高薄膜的沉积质量。
本实用新型抽气件、反应腔及薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种抽气件，其特征在于，包括： 环形本体； 肩部，环设于所述环形本体的外侧壁，所述肩部上开设有多个第一抽气孔，多个所述第一抽气孔沿所述环形本体的圆周方向分布于所述肩部上，所述第一抽气孔沿所述环形本体的轴向贯穿所述肩部。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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