江苏微导纳米科技股份有限公司李挺获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利支撑结构、支撑组件以及镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223074255U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422355622.8,技术领域涉及:C23C16/50;该实用新型支撑结构、支撑组件以及镀膜设备是由李挺;张胜;严大;高朝阳;李翔设计研发完成,并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本支撑结构、支撑组件以及镀膜设备在说明书摘要公布了:本申请涉及一种支撑结构、支撑组件以及镀膜设备。支撑结构包括支撑本体,支撑本体具有配合面,配合面用于承载石墨舟。支撑本体还具有气道,气道具有进气口及出气口,出气口位于配合面上。支撑结构,其具有能够通入气体的气道,且气道的出气口位于配合面上。如此,从气道的进气口通入的高压气体,能够自配合面上的出气口向外吹出,也就是支撑结构可向外排出气体。一方面,这些高压气体能够在配合面上形成高压区域,能够提高发生剧烈反应所需的电压,缓解或解决高频打弧的问题。另一方面,这些高压气体能够在配合面上形成相对高压的区域并向外吹扫,抑制了该区域CVD反应的发生并在配合面沉积绝缘膜的情况,缓解了支撑结构附近打弧、出粉的问题。
本实用新型支撑结构、支撑组件以及镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种支撑结构,其特征在于,所述支撑结构包括支撑本体,所述支撑本体具有配合面,所述配合面用于与石墨舟配合; 所述支撑本体还具有气道,所述气道具有进气口及出气口,所述出气口位于所述配合面上。
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