苏州信越半导体有限公司唐舟获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州信越半导体有限公司申请的专利源炉装夹辅助治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223074317U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422354483.7,技术领域涉及:C30B23/02;该实用新型源炉装夹辅助治具是由唐舟;陈海昌设计研发完成,并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本源炉装夹辅助治具在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体设备技术领域,尤其涉及源炉装夹辅助治具。该源炉装夹辅助治具包括安装件、转运组件、角度调节组件以及锁紧组件,安装件能够将源炉相对于水平面倾斜预设角度安装固定,转运组件用于驱动安装件沿地面移动,角度调节组件设置于转运组件,角度调节组件能够驱动安装件相对于水平面旋转任意角度,锁紧组件能够将安装件与转运组件锁紧固定,实现了对源炉的倾斜固定以及对源炉沿地面的转运,不仅能够满足源炉装源时源炉与水平面之间的夹角小于源炉与主机系统安装固定时源炉与水平面之间的夹角的要求,还能够适用于不同规格的源炉,提高适用性。
本实用新型源炉装夹辅助治具在权利要求书中公布了:1.源炉装夹辅助治具,其特征在于,包括: 安装件100,所述安装件100能够将源炉相对于水平面倾斜预设角度安装固定; 转运组件400,所述转运组件400用于驱动所述安装件100沿地面移动; 角度调节组件200以及锁紧组件300,所述角度调节组件200设置于所述转运组件400,所述角度调节组件200能够驱动所述安装件100相对于水平面旋转任意角度,所述锁紧组件300能够将所述安装件100与所述转运组件400锁紧固定。
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