亚芯半导体材料(江苏)有限公司陈光获国家专利权
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龙图腾网获悉亚芯半导体材料(江苏)有限公司申请的专利一种具有不同位置检测结构的靶材生产平整度检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223077635U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422321392.3，技术领域涉及：G01B11/30；该实用新型一种具有不同位置检测结构的靶材生产平整度检测装置是由陈光;陈凌鹏;程其兵设计研发完成，并于2024-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有不同位置检测结构的靶材生产平整度检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种具有不同位置检测结构的靶材生产平整度检测装置，包括：底板、检测组件一以及检测组件二，底板的上侧表面安装有底箱，底箱的上侧表面安装有检测组件一，底箱的上侧表面通过滑槽对称滑动安装有两个检测组件二，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过设置检测组件二，检测组件一和检测组件二的搭配使用，可以更好地适应这些复杂检测场景，检测组件一能够对靶材的中心区域进行较为精准的检测，但可能存在一些靶材边缘检测盲区，此时检测组件二通过在底箱上侧表面的滑槽对称滑动，可以到达靶材的边缘位置然后搭配旋转件对靶材的边缘位置进行检测，与检测组件一相互配合，极大地扩展了检测装置对靶材的覆盖范围，实现了不同位置检测组件对靶材进行检测的效果，确保平整度的检测效果。
本实用新型一种具有不同位置检测结构的靶材生产平整度检测装置在权利要求书中公布了：1.一种具有不同位置检测结构的靶材生产平整度检测装置，包括：底板100、检测组件一200以及检测组件二300，其特征在于，所述底板100的上侧表面安装有底箱110，所述底箱110的上侧表面安装有检测组件一200，所述底箱110的上侧表面通过滑槽111对称滑动安装有两个检测组件二300； 所述底箱110的内部安装有旋转件，所述底箱110的上侧表面通过旋转件旋转安装有放置盘120，所述检测组件一200包括：安装板一210、控制盒240、电动推杆220以及检测探头230，所述安装板一210的下侧表面通过电动推杆220安装有检测探头230； 所述安装板一210的上侧表面安装有控制盒240，所述检测组件二300包括：安装板二310、摇柄330、滑块320以及螺纹杆，所述安装板二310下侧表面通过摇柄330转动安装有螺纹杆，所述螺纹杆的外侧表面滑动安装有滑块320。
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