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龙图腾网获悉成都联江科技有限公司申请的专利一种紫外光刻物镜及光刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223078538U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422320593.1，技术领域涉及：G02B13/14；该实用新型一种紫外光刻物镜及光刻机是由樊凯;朱红伟;邱盛平设计研发完成，并于2024-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种紫外光刻物镜及光刻机在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种紫外光刻物镜及光刻机，基于光学成像技术领域，紫外光刻物镜包括由物侧到像侧依次布置的物面、第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组、第六透镜组、第七透镜组以及像面；其中，第一透镜组包括第一透镜，第二透镜组包括第二透镜、第三透镜以及第四透镜，第三透镜组包括第五透镜以及第六透镜，第四透镜组包括第七透镜以及第八透镜，第五透镜组包括第九透镜、第十透镜以及第十一透镜，第六透镜组包括第十二透镜、第十三透镜以及第十四透镜，第七透镜组包括第十五透镜、第十六透镜以及第十七透镜，以使得物方数值孔径达到0.09，像方有效视场达到25mm。本方案通过采用十七枚透镜，成本低、效率高、曝光面积大。

本实用新型一种紫外光刻物镜及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种紫外光刻物镜，其特征在于，具有沿光轴方向呈相对设置的物侧和像侧，所述紫外光刻物镜包括由物侧到像侧依次布置的物面、第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组、第六透镜组、第七透镜组以及像面； 其中，所述第一透镜组包括光焦度为负的第一透镜，所述第二透镜组包括光焦度为正的第二透镜、光焦度为正的第三透镜以及光焦度为正的第四透镜，所述第三透镜组包括光焦度为负的第五透镜以及光焦度为负的第六透镜，所述第四透镜组包括光焦度为正的第七透镜以及光焦度为正的第八透镜，所述第五透镜组包括光焦度为负的第九透镜、光焦度为正的第十透镜以及光焦度为正的第十一透镜，所述第六透镜组包括光焦度为正的第十二透镜、光焦度为正的第十三透镜以及光焦度为负的第十四透镜，所述第七透镜组包括光焦度为正的第十五透镜、光焦度为正的第十六透镜以及光焦度为负的第十七透镜，以使得所述紫外光刻物镜的物方数值孔径达到0.09，像方有效视场达到25mm。

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