湖北星辰技术有限公司张童获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北星辰技术有限公司申请的专利一种排风管控制阀装置及光刻机涂布箱获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223076373U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422237240.5,技术领域涉及:F16K27/00;该实用新型一种排风管控制阀装置及光刻机涂布箱是由张童;舒磊设计研发完成,并于2024-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种排风管控制阀装置及光刻机涂布箱在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种排风管控制阀装置及光刻机涂布箱,涉及光刻胶涂布装置技术领域,本申请提供的一种排风管控制阀装置,其包括:具有进气口的过滤箱、具有出气口的控制箱、控制阀体和过滤组件,进气口经过滤箱和控制箱与出气口连通形成直线型排风通道,排风时气体从直线型排风通道排出,最大程度的保证排风通道的顺畅性,提高排风效果。配合过滤箱内设置的过滤组件,过滤残余光刻胶和其他杂质,保证排风时控制阀体的操作精度,减少故障发生的同时提高排风效率。本申请提供的一种光刻胶涂布箱,其通过在涂布箱的排气管道采用上述排风管控制阀,使得设备排风风压利用效率更高,减少设备故障率。
本实用新型一种排风管控制阀装置及光刻机涂布箱在权利要求书中公布了:1.一种排风管控制阀装置,其特征在于,包括:具有进气口400的过滤箱100、具有出气口201的控制箱200、控制阀体300和过滤组件,所述进气口400经所述过滤箱100和所述控制箱200与所述出气口201连通形成直线型排风通道,所述过滤组件设置于所述过滤箱100的内部,所述控制阀体300设置于所述控制箱200内,用于控制所述直线型排风通道的通断。
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