江苏弘远机械制造有限公司陈龙飞获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏弘远机械制造有限公司申请的专利一种双面抛光治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223071130U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422211795.2,技术领域涉及:B24B29/02;该实用新型一种双面抛光治具是由陈龙飞;沈雨顺设计研发完成,并于2024-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双面抛光治具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种双面抛光治具,涉及半导体加工技术领域,包括底板和固定设于底板顶部的支撑架,支撑架的侧部开设有移动槽,移动槽的内部设有驱动夹持机构,并通过驱动夹持机构设有两个对称设置的移动板,移动板的端部固定设有固定架,固定架的下端固定设有支撑管,支撑管的外必须下端转动套设有转管,转管的管壁固定套设有抛光片,移动板的底部设有用于驱动抛光片转动的驱动打磨机构,固定架的顶部固定设有电动推杆。本实用新型提供的移动板、固定架、电动推杆、连接管、吸盘、支撑管、转管、抛光片和驱动打磨机构,能够通过对晶圆双面换位吸附而对晶圆进行双面抛光,不需额外机构对晶圆进行翻转,提高了半导体抛光效率。
本实用新型一种双面抛光治具在权利要求书中公布了:1.一种双面抛光治具,包括底板1和固定设于所述底板1顶部的支撑架2,其特征在于,所述支撑架2的侧部开设有移动槽,所述移动槽的内部设有驱动夹持机构,并通过驱动夹持机构设有两个对称设置的移动板3,所述移动板3的端部固定设有固定架4,所述固定架4的下端固定设有支撑管5,所述支撑管5的外必须下端转动套设有转管6,所述转管6的管壁固定套设有抛光片7,所述移动板3的底部设有用于驱动抛光片7转动的驱动打磨机构; 所述固定架4的顶部固定设有电动推杆8,所述电动推杆8的输出轴末端穿进固定架4并固定设有连接管9,所述连接管9的底部连通设有吸盘10,所述吸盘10位于所述转管6内,所述移动板3的顶部固定设有双向气泵11,所述双向气泵11的两端均连通设有气管12,所述气管12与连接管9连通设置。
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