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龙图腾网获悉安徽光智科技有限公司申请的专利真空泵组件以及硒化锌化学气相沉积系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223074256U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422210780.4，技术领域涉及：C23C16/54；该实用新型真空泵组件以及硒化锌化学气相沉积系统是由曹林;王和风;杨峰;陈杨;冯锡文;符小弟设计研发完成，并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本真空泵组件以及硒化锌化学气相沉积系统在说明书摘要公布了：提供一种真空泵组件以及硒化锌化学气相沉积系统。真空泵组件包括真空泵、油管连接系统及滤油机；真空泵用于通过泵油抽气和排气，真空泵包括真空泵油箱、回油管及放油口，真空泵油箱用于盛放初始的泵油及过滤后的泵油，回油管和放油口连通于真空泵油箱；油管连接系统包括进油连接管及回油连接管；滤油机包括滤油机油箱、滤芯、进油管、出油管及增压泵，进油管经由进油连接管连接放油口和滤油机油箱，滤芯安放在滤油机油箱内，增压泵用于将真空泵油箱内的泵油泵送至滤芯中以过滤，出油管用于将滤芯过滤后的泵油排出；回油连接管和回油管用于出油管排出的过滤后的泵油回流到真空泵油箱中。硒化锌化学气相沉积系统包括沉积室以及前述的真空泵组件。

本实用新型真空泵组件以及硒化锌化学气相沉积系统在权利要求书中公布了：1.一种真空泵组件，其特征在于， 真空泵组件100包括真空泵1、油管连接系统2、以及滤油机3； 真空泵1用于通过泵油抽气和排气，真空泵1包括真空泵油箱10、回油管11以及放油口12，真空泵油箱10用于盛放通过泵油抽气排气的初始的泵油以及过滤后的泵油，回油管11和放油口12连通于真空泵油箱10； 油管连接系统2包括进油连接管21以及回油连接管22； 滤油机3包括滤油机油箱31、滤芯32、进油管33、出油管34以及增压泵35，进油管33经由进油连接管21连接放油口12和滤油机油箱31，滤芯32安放在滤油机油箱31内，增压泵35设置于进油管33并用于将真空泵油箱10内的泵油泵送至滤油机油箱31内的滤芯32中以进行过滤，出油管34连通于滤油机油箱31并用于将滤芯32过滤后的泵油排出； 回油连接管22将出油管34和回油管11连接，回油连接管22和回油管11用于出油管34排出的过滤后的泵油回流到真空泵油箱10中。

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