应用材料公司Y·潘获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利谐振工艺监视器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110289228B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910203752.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权谐振工艺监视器是由Y·潘;V·克里斯瓦桑;S·毛;K·陈;M·D·威尔沃思;A·萨布莱曼尼;A·戈埃尔;C-S·陆;P·A·克劳斯;P·J·泰伊;L·泰代斯基设计研发完成，并于2019-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本谐振工艺监视器在说明书摘要公布了：本文所述的实施方式包括谐振工艺监视器以及形成这种谐振工艺监视器的方法。在一个实施方式中，谐振工艺监视器包括框架，所述框架具有第一开口和第二开口。在一个实施方式中，谐振主体密封框架的第一开口。在一个实施方式中，在谐振主体的第一表面上的第一电极接触框架，并且第二电极在谐振主体的第二表面上。实施方式还包括背板，所述背板密封框架的第二开口。在一个实施方式中，背板机械地耦接到框架，并且谐振主体、背板和框架的内表面限定空腔。
本发明授权谐振工艺监视器在权利要求书中公布了：1.一种谐振工艺监视器，包括： 框架，其中所述框架包括第一开口和第二开口； 谐振主体，所述谐振主体密封所述框架的所述第一开口，其中在所述谐振主体的第一表面上的第一电极接触所述框架，并且其中第二电极在所述谐振主体的第二表面上，并且其中仅所述第二电极接触所述谐振主体的所述第二表面；和 背板，所述背板密封所述框架的所述第二开口，其中所述背板机械地耦接到所述框架，其中所述谐振主体、所述背板、以及所述框架的内表面限定气密密封的空腔，其中所述第二电极和所述谐振主体的所述第二表面的一部分以及所述谐振主体的侧表面暴露于所述气密密封的空腔。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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