深圳新声半导体有限公司梁骥获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳新声半导体有限公司申请的专利一种减缓应力的滤波装置及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119448975B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510032368.4，技术领域涉及：H03H9/54；该发明授权一种减缓应力的滤波装置及其制作方法是由梁骥;邹洁;冯端;高海婷;张琪设计研发完成，并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种减缓应力的滤波装置及其制作方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种减缓应力的滤波装置及其制作方法。涉及滤波技术领域。其中，滤波装置中的声学谐振器形成于作为载体的衬底的第一侧，电容结构形成于该衬底的第二侧，从而可以从作为载体的衬底处开始穿孔，不仅贯穿了键合层，依次贯穿了截止边界层、牺牲层、介质层、压电层等固体材料层，形成用于实现电容和声学谐振电极间电连接的通孔，由于这些层主要由具有高机械强度和韧性的固体材料构成，穿孔时能够显著减少因材料弱连接导致的断裂风险，降低了穿孔操作可能引入的局部应力集中，减少了滤波装置在制造和使用过程中因穿孔导致的断裂情况。进而解决了现有技术中存在的集成了声学谐振器和电容滤波器的滤波装置容易发生断裂情况的技术问题。
本发明授权一种减缓应力的滤波装置及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种减缓应力的滤波装置，其特征在于，包括：作为载体的第一衬底、第一键合层、作为盖帽的第二衬底、声学谐振器和至少一个电容结构，其中 所述声学谐振器形成于所述第一衬底的第一侧； 所述第二衬底位于所述声学谐振器远离所述第一衬底的一侧，并通过所述第一键合层与所述声学谐振器键合连接；以及 所述电容结构形成于所述第一衬底的第二侧，并通过通孔与所述声学谐振器的至少一个电极电连接；所述通孔的横向位置与所述第一键合层相对应。
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