无锡旭邦精密机械有限公司宋文获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡旭邦精密机械有限公司申请的专利一种大尺寸硅片花篮结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119694972B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411608532.3,技术领域涉及:H01L21/687;该发明授权一种大尺寸硅片花篮结构是由宋文;周龙设计研发完成,并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大尺寸硅片花篮结构在说明书摘要公布了:本发明涉及硅片花篮技术领域,尤其涉及一种大尺寸硅片花篮结构,包括移动座,移动座上放置有硅片花篮座,硅片花篮座上转动连接设置有两个放置辊轴,硅片花篮座上转动连接设置有可调硅片限位机构,调节块上转动连接设置有转动架,转动架上安装有硅片驱动机构,硅片花篮座上滑动配合设置有防护盖,在将硅片花篮座置于清洗液内进行硅片清洗时,利用硅片驱动机构,在硅片驱动轮及放置辊轴的配合下,使得硅片在清洗时进行转动的硅片能够确保清洗液均匀覆盖整个硅片表面,避免清洗死角,提高清洗效果,转动可以增加硅片与清洗液之间的流动接触,提高清洗速率,转动可以防止气泡在硅片表面的滞留,确保更好的清洗效果。
本发明授权一种大尺寸硅片花篮结构在权利要求书中公布了:1.一种大尺寸硅片花篮结构,包括移动座1,其特征在于:所述移动座1上放置有硅片花篮座2,所述硅片花篮座2上转动连接设置有两个放置辊轴3,所述硅片花篮座2上转动连接设置有可调硅片限位机构4,所述硅片花篮座2一侧连接固定设置有固定架5,所述固定架5内连接固定设置有电推杆A501,所述电推杆A501另一端与调节块6连接固定设置,所述固定架5上端一侧连接固定设置有调节齿条502,所述固定架5内滑动配合设置有调节块6,所述调节块6一端转动连接设置有蜗杆601,所述蜗杆601靠近调节齿条502的一端连接固定设置有调节轮602,所述调节轮602与调节齿条502啮合传动设置,所述调节块6上转动连接设置有转动架7,所述转动架7与调节块6连接的一端连接固定设置有蜗轮701,所述蜗轮701与蜗杆601啮合传动设置,所述转动架7上安装有硅片驱动机构8,所述硅片驱动机构8包括U型架801,所述U型架801两端均连接固定设置有导向轴802,所述导向轴802与转动架7贯穿滑动配合设置,所述导向轴802一端连接固定设置有弹簧803,所述弹簧803另一端与转动架7连接固定设置,所述U型架801上转动连接设置有传动杆804,所述传动杆804上呈线性结构连接固定设置有多个硅片驱动轮805,所述U型架801一端连接固定设置有电机罩806,所述电机罩806内安装固定设置有电机807,所述电机807输出端与传动杆804一端连接固定设置,所述硅片花篮座2上滑动配合设置有防护盖9。
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