拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司赵东萱获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利一种喷淋盘的温度检测机构及其薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223091411U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422353339.1，技术领域涉及：G01K13/00；该实用新型一种喷淋盘的温度检测机构及其薄膜沉积设备是由赵东萱;孙少东;姜崴;孟亮设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种喷淋盘的温度检测机构及其薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种喷淋盘的温度检测机构及其薄膜沉积设备，喷淋盘的温度检测机构包括：弹性组件，所述弹性组件的一端固定连接于腔体的上盖上；温度传感器以及连接于所述温度传感器的信号线，所述信号线的中部挂接于所述弹性组件的移动端，所述温度传感器连接于喷淋盘。本实用新型的喷淋盘的温度检测机构及其薄膜沉积设备，其通过将温度传感器的信号线的中部挂接于一弹性组件上，在腔体的上盖打开或关闭状态以及过程中，信号线始终自动被弹性组件张紧，从而避免信号线与加热的喷淋盘接触而被烧毁，其结构简单，且降低了维护成本。
本实用新型一种喷淋盘的温度检测机构及其薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种喷淋盘的温度检测机构，其特征在于，包括： 弹性组件，所述弹性组件的一端固定连接于腔体的上盖上； 温度传感器以及连接于所述温度传感器的信号线，所述信号线的中部挂接于所述弹性组件的移动端，所述温度传感器连接于喷淋盘。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司，其通讯地址为：110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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