泉意光罩光电科技(济南)有限公司魏自亮获国家专利权
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龙图腾网获悉泉意光罩光电科技(济南)有限公司申请的专利一种可拆卸的薄膜组件及光掩模版获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092290U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422345994.2，技术领域涉及：G03F1/64；该实用新型一种可拆卸的薄膜组件及光掩模版是由魏自亮;张哲玮设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可拆卸的薄膜组件及光掩模版在说明书摘要公布了：本申请提供一种可拆卸的薄膜组件及光掩模版，涉及半导体加工技术领域。该可拆卸的薄膜组件包括：第一框架、第二框架和保护膜，第一框架用于固定在掩膜版本体上，保护膜绷紧固定在第二框架上，第二框架与第一框架可拆卸连接。当第二框架与第一框架连接时，保护膜通过第一框架和第二框架固定在掩膜版本体的上方，对掩膜版本体进行保护。当掩膜版本体需要进行修补时，将第二框架从第一框架上拆卸下来，即可去除保护膜，从而将掩膜版本体的膜内区域露出进行修补。修补完成后，再次将带保护膜的第二框架安装回第一框架上即可。该可拆卸的薄膜组件降低了生产风险和操作难度，具有更好的容错率。同时，还能够提高生产效率，降低生产成本。
本实用新型一种可拆卸的薄膜组件及光掩模版在权利要求书中公布了：1.一种可拆卸的薄膜组件，被配置于掩膜版本体上，其特征在于，包括：第一框架、第二框架和保护膜，所述第一框架用于固定在所述掩膜版本体上，所述保护膜绷紧固定在所述第二框架上，所述第二框架与所述第一框架可拆卸连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人泉意光罩光电科技(济南)有限公司，其通讯地址为：250000 山东省济南市高新区汉峪金谷A1座3号楼人工智能大厦23层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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