安徽国芯光刻技术有限公司章广飞获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽国芯光刻技术有限公司申请的专利一种光刻机取片装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092296U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422345404.6，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻机取片装置是由章广飞;王运钢;薛业保设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机取片装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光刻机取片装置，属于光刻机技术领域，包括定位台，所述定位台顶面开设有滑槽，所述滑槽内设有滑块以及驱动滑块移动的第一驱动组件，所述滑块顶面固定连接有供硅片放置的放置板，所述滑槽一端两侧的定位台上均设有安装槽，所述定位台内部转动设有两个平行的转动轴。该光刻机取片装置，通过滑块配合第一驱动组件实现放置板与硅片的移动，再通过第二驱动组件驱动转动轴移动，进而实现四个转动杆同步转动，以此实现取片板将硅片抬起，保持水平并移动。相较现有的装置，避免了对硅片顶面的接触，也避免了对硅片底面的摩擦磨损，提高了硅片生产的质量与稳定性。
本实用新型一种光刻机取片装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻机取片装置，包括定位台1与硅片2，其特征在于，所述定位台1顶面开设有滑槽3，所述滑槽3内设有滑块4以及驱动滑块4移动的第一驱动组件，所述滑块4顶面固定连接有供硅片2放置的放置板5； 所述滑槽3一端两侧的定位台1上均设有安装槽6，所述定位台1内部转动设有两个平行的转动轴7，且两个所述转动轴7均贯穿两个安装槽6，所述转动轴7上两端均固定套接有位于安装槽6内的转动杆8，同一安装槽6内的两个转动杆8上端共同铰接有水平的取片板9，所述定位台1内部设有驱动两个转动轴7同步转动的第二驱动组件，所述取片板9顶面在初始状态时低于放置板5顶面； 所述滑槽3中部两侧对称设有用以回正硅片2位置的回正组件。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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