上海积塔半导体有限公司李雷获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利一种涂胶显影设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092297U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422350187.X，技术领域涉及：G03F7/30；该实用新型一种涂胶显影设备是由李雷设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种涂胶显影设备在说明书摘要公布了：本申请属于半导体设备技术领域，提供一种涂胶显影设备，包括显影腔室以及位于显影腔室内的承载组件、喷洒组件和遮挡组件，承载组件包括放置基片的承载基座和支撑承载基座的旋转轴，喷洒组件包括喷洒显影液的喷嘴，遮挡组件套设于旋转轴的外周，包括第一遮罩、第二遮罩和第三遮罩，第三遮罩套设于第一遮罩的外周，第一遮罩能够上下移动以套设于基片的外周，第二遮罩位于承载基座下方并连接至承载组件，第一遮罩沿旋转轴轴线方向完全暴露基片且内壁设置有防粘层，能够防止雾化显影液在基片正上方凝结滴落以及基片甩出的光刻胶废液在第一遮罩内壁粘连，提高了产品良率，降低了设备的保养维护频率，节约了企业成本。
本实用新型一种涂胶显影设备在权利要求书中公布了：1.一种涂胶显影设备，其特征在于，包括显影单元，所述显影单元包括承载组件、喷洒组件、遮挡组件以及用于进行显影工艺的显影腔室； 所述承载组件连接至所述显影腔室的底部，包括用于放置基片的承载基座以及连接至所述承载基座下方的旋转轴，所述旋转轴支撑并带动所述承载基座转动； 所述喷洒组件包括位于所述基片上方的喷嘴，用于将显影液喷洒至所述基片； 所述遮挡组件套设于所述旋转轴的外周，包括第一遮罩、第二遮罩和第三遮罩，所述第三遮罩位于所述承载基座的下方并连接至所述显影腔室的底部，且套设于所述第一遮罩的外周，所述第一遮罩能够沿所述旋转轴的轴线方向上下移动，以使所述第一遮罩套设于所述基片的外周，所述第二遮罩位于所述承载基座的下方，并连接至所述承载组件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海积塔半导体有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区云水路600号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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