极电光能有限公司彭冲获国家专利权
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龙图腾网获悉极电光能有限公司申请的专利膜层厚度分布调整系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223087900U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422323345.2，技术领域涉及：C23C14/54；该实用新型膜层厚度分布调整系统是由彭冲;李明洁;王良乐;吴俊杰;邵君设计研发完成，并于2024-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本膜层厚度分布调整系统在说明书摘要公布了：本申请涉及光学镀膜技术领域，具体而言，涉及一种膜层厚度分布调整系统，在第一方向上两个所述厚度补偿板组件相对设置，且在两个所述厚度补偿板组件之间形成间隙，在第二方向上所述玻璃基材、所述间隙和所述靶材从上导向依次排列，所述厚度补偿板组件包括多个分区板和多个分区板驱动单元，各所述分区板在第三方向上排列，各所述分区板驱动单元一一对应的安装于各所述分区板，所述分区板驱动单元用于带动所述分区板在第三方向上移动，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两相互垂直。本申请的目的在于针对背景技术中所涉及的至少一个技术问题，提供一种膜层厚度分布调整系统。
本实用新型膜层厚度分布调整系统在权利要求书中公布了：1.膜层厚度分布调整系统，其特征在于，包括腔室，以及均位于所述腔室内的两个厚度补偿板组件，在第一方向上两个所述厚度补偿板组件相对设置，且在两个所述厚度补偿板组件之间形成用于源材料气体通过的气体通道，所述厚度补偿板组件包括多个分区板和多个分区板驱动单元，各所述分区板在第三方向上排列，各所述分区板驱动单元一一对应的安装于各所述分区板，所述分区板驱动单元用于带动所述分区板在第一方向上移动，所述第一方向和所述第三方向在同平面内相互垂直。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人极电光能有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市锡山经济技术开发区通云南路77号3号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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