江苏芯梦半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利一种晶圆处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092825U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422307887.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆处理设备是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆处理设备，包括：工艺腔；安装腔，与工艺腔分隔设置；传输机构，包括驱动组件、夹取组件以及连接杆，驱动组件安装在安装腔内，夹取组件位于工艺腔内；传输机构被配置为驱动组件能够驱动连接杆带动夹取组件移动，以带动夹取组件夹取的载有晶圆的花篮在多个工艺槽体之间移动。通过将工艺腔与安装腔分隔设置，且能够实现驱动组件驱动夹取组件夹取花篮在多个工艺槽之间移动的同时，还能有效减小工艺槽内清洗液与驱动组件的接触，减少驱动组件被腐蚀的风险，另一方面，驱动组件在运动过程中由于各部件之间的摩擦产生的颗粒等不会掉落在清洗液中，从而避免对清洗液的污染，进而避免对清洗后晶圆的二次污染。
本实用新型一种晶圆处理设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆处理设备，其特征在于，包括： 工艺腔，包括多个工艺槽体； 安装腔，位于所述工艺腔的上方，与所述工艺腔分隔设置； 传输机构，包括驱动组件、夹取组件以及连接所述驱动组件与夹取组件的连接杆，所述驱动组件安装在所述安装腔内，所述夹取组件位于所述工艺腔内；所述传输机构被配置为，所述驱动组件能够驱动所述连接杆带动所述夹取组件移动，以带动所述夹取组件夹取的载有晶圆的花篮在多个工艺槽体之间移动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏芯梦半导体设备有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7幢(2号厂房)1、2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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