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龙图腾网获悉江西兆驰半导体有限公司申请的专利一种晶圆除尘装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092823U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422297276.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆除尘装置是由刘厚政;葛新荣;董务乐;赵晓明;董国庆;文国昇;金从龙设计研发完成，并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆除尘装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆除尘装置包括箱体、送料机构、除尘机构和控制端，箱体开设贯穿箱体的腔体，送料机构包括输送带，输送带穿过腔体，除尘机构包括两组除尘组件、驱动组件和吸尘送风组件，驱动组件设于两组除尘组件之间，两组除尘组件和驱动组件位于腔体内，除尘组件包括旋转除尘盘座、送风管模块和吸尘筒模块，旋转除尘盘座的底部设有若干出气嘴和若干柔性刷毛，环绕出气嘴和柔性刷毛的外缘设有吸尘槽，吸尘送风组件设于箱体的一侧，吸尘送风组件包括风机和除尘器，控制端设于箱体上相对除尘器的一侧，通过设置有两组除尘组件，使得晶圆依次经过两组除尘组件的底部，两组除尘组件分别对晶圆进行清理除尘，两次清理提高了清尘效果。

本实用新型一种晶圆除尘装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆除尘装置，其特征在于：包括箱体、送料机构、除尘机构和控制端，所述箱体上开设贯穿所述箱体的腔体，所述送料机构包括输送带，所述输送带穿过所述腔体，所述输送带用于传送晶圆； 所述除尘机构包括两组除尘组件、驱动组件和吸尘送风组件，所述驱动组件设于两组所述除尘组件之间，两组所述除尘组件和所述驱动组件位于所述腔体内，所述除尘组件包括旋转除尘盘座、送风管模块和吸尘筒模块，所述旋转除尘盘座的底部设有若干出气嘴和若干柔性刷毛，环绕所述出气嘴和所述柔性刷毛的外缘设有吸尘槽，所述吸尘槽的顶部和所述吸尘筒模块通过若干第一吸尘管连接，所述吸尘筒模块通过第二吸尘管与所述腔体连接，所述旋转除尘盘座的顶部设有所述送风管模块，所述送风管模块凸出于所述腔体外，所述吸尘槽的外缘设有第一齿轮，所述驱动组件用于驱动所述第一齿轮转动，所述旋转除尘盘座与所述吸尘筒模块活动连接； 所述吸尘送风组件设于所述箱体的一侧，所述吸尘送风组件包括风机和除尘器，所述风机设于所述箱体的上方，所述除尘器设于所述箱体的一侧，所述风机和所述除尘器通过第一管路连接，所述风机背向所述第一管路的一侧与所述送风管模块连接，所述除尘器与所述第二吸尘管连接； 所述控制端设于所述箱体上背向所述除尘器的一侧，所述控制端用于控制所述送料机构和所述吸尘送风组件。

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