芯恩(青岛)集成电路有限公司张永盛获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利悬吊式缓存装置及自动物料搬运系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223092843U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422258916.9,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型悬吊式缓存装置及自动物料搬运系统是由张永盛;李向峰设计研发完成,并于2024-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本悬吊式缓存装置及自动物料搬运系统在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种悬吊式缓存装置及自动物料搬运系统。其中,所述悬吊式缓存装置中加设了锁定单元。所述锁定单元包括夹臂组件;所述夹臂组件设置于所述装置本体的侧边,以能够在所述承载面承载所述晶圆盒时,夹持并锁定所述晶圆盒与所述装置本体。因而,在所述装置本体向所述晶圆盒通入净化气体时,基于所述晶圆盒与所述装置本体的位置锁定,能够避免所述晶圆盒因受气体冲击而发生位移,有效缓解了供气过程中的漏气问题,利于所述装置本体向所述晶圆盒稳定供气。同时,还能降低供气过程中的安全风险,提高对所述晶圆盒的净化效果。
本实用新型悬吊式缓存装置及自动物料搬运系统在权利要求书中公布了:1.一种悬吊式缓存装置,其特征在于,包括装置本体和锁定单元;其中, 所述装置本体具有一承载面,用于承载晶圆盒; 所述锁定单元包括夹臂组件;所述夹臂组件设置于所述装置本体的侧边,以能够在所述承载面承载所述晶圆盒时,夹持并锁定所述晶圆盒与所述装置本体;以及, 所述装置本体内通有净化气体,所述承载面具有通气口;且当所述夹臂组件锁定所述晶圆盒与所述装置本体时,所述净化气体能够经所述通气口进入所述晶圆盒内。
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