日月新半导体(昆山)有限公司张生获国家专利权
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龙图腾网获悉日月新半导体(昆山)有限公司申请的专利一种氮化镓晶体的抛光装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223084442U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422232112.1,技术领域涉及:B24B27/00;该实用新型一种氮化镓晶体的抛光装置是由张生设计研发完成,并于2024-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氮化镓晶体的抛光装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体加工与制造技术领域,公开了一种氮化镓晶体的抛光装置,包括底座,所述底座上固定连接有支杆,所述支杆上固定连接有齿条,所述支杆上固定连接有第一滑轨,所述第一滑轨上滑动连接有移动梁,所述移动梁上固定安装有第一电机,所述第一电机的输出端固定连接有传动杆,所述传动杆上固定连接有齿轮。本实用新型中,通过第一电机和第二电机的协同工作,结合齿轮与齿条的精确啮合以及螺纹杆与螺纹块的稳定传动,该抛光装置能够实现对抛光组件位置的调整,这种高精度的定位能力确保了抛光组件能够准确地移动到氮化镓晶体的任何指定位置,从而避免了因位置偏差导致的抛光不均匀或损伤晶体的风险。
本实用新型一种氮化镓晶体的抛光装置在权利要求书中公布了:1.一种氮化镓晶体的抛光装置,包括底座1,其特征在于:所述底座1上固定连接有支杆2,所述支杆2上固定连接有齿条3,所述支杆2上固定连接有第一滑轨4,所述第一滑轨4上滑动连接有移动梁5,所述移动梁5上固定安装有第一电机6,所述第一电机6的输出端固定连接有传动杆7,所述传动杆7上固定连接有齿轮8,所述齿轮8与齿条3啮合连接,所述移动梁5上固定安装有第二电机9,所述第二电机9的输出端固定连接有螺纹杆10,所述螺纹杆10上螺纹连接有螺纹块11,所述螺纹块11滑动于移动梁5上,所述螺纹块11上固定连接有升降架12,所述升降架12上固定安装有电动推杆13,所述电动推杆13的输出端固定连接有升降块14,所述升降架12上开设有第二滑轨15,所述升降块14通过第二滑轨15在升降架12内滑动。
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