上海虹翌智能科技有限公司陈文顶获国家专利权
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龙图腾网获悉上海虹翌智能科技有限公司申请的专利一种6寸晶圆片及8寸晶圆片共用的吸附装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092856U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422230184.2，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种6寸晶圆片及8寸晶圆片共用的吸附装置是由陈文顶;陈兆祥设计研发完成，并于2024-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种6寸晶圆片及8寸晶圆片共用的吸附装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体加工技术领域，是关于一种6寸晶圆片及8寸晶圆片共用的吸附装置，其包括：第一装置本体，所述第一装置本体上设有主气道和辅气道，所述主气道与辅气道相连通；第二装置本体，所述第二装置本体连接于第一装置本体上；所述第二装置本体上设有若干第一气孔，若干第一气孔与对应的辅气道相通；所述第二装置本体上设有第二气孔。采用上述结构后，其有益效果是：通过将第一气孔、主气道和辅气道控制在合理的范围内，从而使得可以在吸取6寸或8寸晶圆片的情况下仍然可以具有良好的吸附效果，进而使得晶圆吸附装置可以运用到对6寸或8寸晶圆片进行移动的设备上，使得适用性提高。
本实用新型一种6寸晶圆片及8寸晶圆片共用的吸附装置在权利要求书中公布了：1.一种6寸晶圆片及8寸晶圆片共用的吸附装置，其特征在于，其包括：第一装置本体，所述第一装置本体上设有主气道和辅气道，所述主气道与辅气道相连通；辅气道为两组，两组的辅气道以第一装置本体的中心对称设置，且两组的辅气道分别与主气道对应的两端相连通； 第二装置本体，所述第二装置本体连接于第一装置本体上，第二装置本体将第一装置本体上的主气道和辅气道进行密封以形成封闭的真空气道；所述第二装置本体上设有若干第一气孔，若干第一气孔与对应的辅气道相通；每个第一气孔上连接有吸盘；所述第二装置本体上设有第二气孔，所述第二气孔与主气道相通。
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