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江苏晶利恒半导体科技有限公司李春财获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏晶利恒半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆生产用研磨装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223084377U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422213696.8,技术领域涉及:B24B7/22;该实用新型一种晶圆生产用研磨装置是由李春财;任宏志设计研发完成,并于2024-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆生产用研磨装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆生产用研磨装置,属于晶圆相关技术领域,以解决现有技术中在对晶圆进行表面研磨处理时,一次只能对晶圆一端面进行研磨处理,晶圆在进行表面研磨时,通常需要对晶圆顶端和底端均进行研磨处理,才可完成晶圆的研磨工作,晶圆的表面研磨操作效率相对不佳的问题,包括壳体,所述壳体一端固接有管体,所述管体和壳体内部均灌有液压油,所述管体上安装有第一推杆,利用推杆驱动活塞在管体内移动,就可将液压油注入多组筒体内,进而推动多组活塞杆相互靠拢,使得多组夹板可将晶圆进行竖直夹持放置,此时利用一前一后研磨盘与晶圆两端面的接触,就能一次性对晶圆两端面进行研磨处理,晶圆的表面研磨操作效率相对高效。

本实用新型一种晶圆生产用研磨装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆生产用研磨装置,其特征在于:包括壳体1,所述壳体1一端固接有管体2,所述管体2和壳体1内部均灌有液压油8,所述管体2上安装有第一推杆3,所述第一推杆3输出端上固接有活塞4,所述活塞4外壁与所述管体2内壁滑动相连,所述壳体1上固接有多组筒体5,多组所述筒体5内壁均滑动相连有活塞杆6,多组所述活塞杆6上均固接有夹板7,所述壳体1上通过轴承转动相连有柱体9,所述柱体9一端和另一端均固接有板体10,两组所述板体10上均安装有第二推杆11,两组所述第二推杆11输出端上均安装有电机12,两组所述电机12输出端上均安装有研磨盘13。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏晶利恒半导体科技有限公司,其通讯地址为:226400 江苏省南通市如东县掘港街道富春江路198号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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