宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利靶材翻转装置及工作台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223087895U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422202387.0，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型靶材翻转装置及工作台是由姚力军;郑周涛;徐涛;张国洪;陈雄威;张勇;章波设计研发完成，并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本靶材翻转装置及工作台在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体技术领域，公开了一种靶材翻转装置及工作台，用于翻转吊装件吊起的靶材，通过吊装件、夹持件和转盘之间的相互配合，实现了将靶材从正面状态转变为竖立状态、再从竖立状态最终翻转到反面状态的过程；其中吊装件能够将靶材竖立吊起，夹持件的卡槽能够牢固夹持住竖立的靶材；转盘带动夹持件旋转，将夹持件夹持的竖立状态的靶材从正面翻转到反面，随后改变吊装件与靶材上的吊装位置，再通过吊装件将翻转后的靶材放入溅射机台上继续加工靶材反面；因此靶材翻转装置及工作台通过机械装置实现了靶材的自动翻转，减少了人工操作步骤，减少了靶材在加工环节可能受到的损坏，同时，减少了靶材翻转的中间停顿，提高了靶材的加工效率。
本实用新型靶材翻转装置及工作台在权利要求书中公布了：1.靶材翻转装置，用于翻转吊装件吊起的靶材，其特征在于，包括： 夹持件1，所述夹持件1具有卡槽11，所述卡槽11宽度大于等于所述靶材厚度且小于所述靶材外径，所述卡槽11被配置为夹持竖立的所述靶材； 转盘2，所述转盘2上设置有所述夹持件1，所述转盘2能够带动所述夹持件1旋转。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人宁波江丰电子材料股份有限公司，其通讯地址为：315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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