日月新半导体(苏州)有限公司张生获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉日月新半导体(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆吸附盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092854U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422199345.6，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种晶圆吸附盘是由张生设计研发完成，并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆吸附盘在说明书摘要公布了：本实用新型涉及吸附盘技术领域，公开了一种晶圆吸附盘，包括底座、安装板，所述安装板上固定连接有连接座，所述连接座上固定连接有主吸附盘体，所述连接座内固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有转动盘，所述连接杆上固定连接有副吸附盘体，所述安装板上固定安装有真空发生器，所述导流块上固定连接有导气管，所述主吸附盘体的底部设有主吸盘，所述副吸附盘体的底部设有副吸盘。本实用新型中，在使用时，启动第一电机，从而驱动转动盘旋转，利用滑槽与滑杆的配合，实现了六组副吸附盘体的快速展开与收缩，从而根据晶圆的实际大小灵活调整吸附面积，大大提高了设备的通用性和适应性，降低了生产成本和维护难度。
本实用新型一种晶圆吸附盘在权利要求书中公布了：1.一种晶圆吸附盘，包括底座1、安装板2，其特征在于：所述安装板2上固定连接有连接座3，所述连接座3上固定连接有主吸附盘体4，所述连接座3内固定安装有第一电机5，所述第一电机5的输出端固定连接有转动盘6，所述转动盘6转动连接于主吸附盘体4，所述转动盘6上开设有滑槽7，所述滑槽7内滑动连接有滑杆8，所述滑杆8上固定连接有连接杆9，所述连接杆9贯穿滑动于转动盘6上，所述连接杆9上固定连接有副吸附盘体10，所述副吸附盘体10上设有副连接头11，所述主吸附盘体4上设有主连接头12，所述安装板2上固定安装有真空发生器13，所述真空发生器13的输出端固定连接有导流块14，所述导流块14上固定连接有导气管15，所述导气管15设有多组，所述副连接头11、主连接头12均与导气管15固定连接，所述主吸附盘体4的底部设有主吸盘16，所述主吸盘16与主连接头12贯穿固定连接，所述副吸附盘体10的底部设有副吸盘17，所述副吸盘17与副连接头11贯穿固定连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人日月新半导体(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市苏州工业园区苏虹西路188号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号