日月新半导体(苏州)有限公司张生获国家专利权
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龙图腾网获悉日月新半导体(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆承载基板获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223092860U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422199349.4,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种晶圆承载基板是由张生设计研发完成,并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆承载基板在说明书摘要公布了:本实用新型属于承载基板技术领域,提供了一种晶圆承载基板,包括箱体,所述箱体内固定连接有第一电机,所述第一电机的输出端固定连接有驱动齿轮,所述驱动齿轮两端啮合连接有从动齿轮,所述从动齿轮的直径大于驱动齿轮的直径,所述从动齿轮的一侧固定连接有连轴,所述连轴远离从动齿轮的一端转动连接于箱体内,所述从动齿轮上设有第一滑槽。本实用新型中,通过第一电机带动驱动齿轮转动使从动齿轮转动,通过从动齿轮转动带动滑动轴在第一滑槽内滑动,通过滑动轴滑动带动滑动杆在第二滑槽内滑动,通过滑动杆滑动带动夹紧板对晶圆进行夹紧,夹紧的直径可调,从而使该承载基板对各种直径的晶圆都可进行夹紧,提高该承载基板的泛用性。
本实用新型一种晶圆承载基板在权利要求书中公布了:1.一种晶圆承载基板,包括箱体1,其特征在于:所述箱体1内固定连接有第一电机2,所述第一电机2的输出端固定连接有驱动齿轮3,所述驱动齿轮3两端啮合连接有从动齿轮4,所述从动齿轮4的直径大于驱动齿轮3的直径,所述从动齿轮4的一侧固定连接有连轴6,所述连轴6远离从动齿轮4的一端转动连接于箱体1内,所述从动齿轮4上设有第一滑槽5,所述第一滑槽5内滑动连接有滑动轴7,所述连轴6远离滑动轴7的一端固定连接有滑动杆8,所述箱体1上设有第二滑槽10,所述滑动杆8贯穿滑动连接于第二滑槽10内,所述滑动杆8远离滑动轴7的一端固定连接有夹紧板9。
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