日月新半导体(苏州)有限公司崔军获国家专利权
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龙图腾网获悉日月新半导体(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆研磨装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223084479U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422191590.2,技术领域涉及:B24B37/10;该实用新型一种晶圆研磨装置是由崔军设计研发完成,并于2024-09-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆研磨装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆研磨装置,属于晶圆研磨技术领域,包括底座,所述底座上设有放置槽,所述放置槽内滑动有研磨桶,所述研磨桶的两端分别固定连接有固定板,所述固定板上设有插槽,所述底座上固定连接有限位板,所述底座上固定连接有第一弹簧,所述底座上固定连接有竖板,所述竖板内贯穿滑动连接有滑动杆,本实用新型可以先将需要进行研磨的晶圆放置于研磨桶中并将研磨桶放置于底座上的放置槽中然后进行固定,在将研磨桶放置于放置槽内的时候会推动第二弹簧向着外侧移动,在固定板位于楔形板的下方时,第二弹簧带动楔形板复位将研磨桶进行固定,并通过四组安装孔将本装置进行固定,进一步保证了在对晶圆研磨时的稳定性。
本实用新型一种晶圆研磨装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆研磨装置,包括底座1,其特征在于:所述底座1上设有放置槽2,所述放置槽2内滑动有研磨桶3,所述研磨桶3的两端分别固定连接有固定板4,所述固定板4上设有插槽5,所述底座1上固定连接有限位板6,所述底座1上固定连接有第一弹簧7,所述底座1上固定连接有竖板8,所述竖板8内贯穿滑动连接有滑动杆9,所述滑动杆9的一端固定连接有拉板10,所述滑动杆9的另一端固定连接有楔形板11,所述滑动杆9上套接有第二弹簧12。
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