昆山龙腾光电股份有限公司焦恩吉获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉昆山龙腾光电股份有限公司申请的专利干蚀刻机下电极和干蚀刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092811U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422193311.6，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型干蚀刻机下电极和干蚀刻机是由焦恩吉设计研发完成，并于2024-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本干蚀刻机下电极和干蚀刻机在说明书摘要公布了：本实用新型实施例公开了一种干蚀刻机下电极和干蚀刻机，干蚀刻机下电极包括：基体、电极层、介质层和土堤，电极层位于基体一侧；介质层位于电极层远离基体一侧；土堤位于电极层远离基体一侧，且土堤围绕介质层设置；其中，至少部分土堤在远离基体一侧的表面上设置有导槽。本实用新型实施例提供的技术方案，通过在土堤远离基体一侧的表面上设置导槽，使得土堤表面不再是光滑的平面，从而增加土堤的粗糙度，以便降低土堤与待刻蚀件之间的粘附性，避免出现待刻蚀件破片的风险。且由于导槽的存在，可以减少对土堤的打磨次数，减轻对下电极造成损坏，有利于延长下电极的保养时间。
本实用新型干蚀刻机下电极和干蚀刻机在权利要求书中公布了：1.一种干蚀刻机下电极，其特征在于，包括： 基体； 电极层，所述电极层位于所述基体一侧； 介质层，所述介质层位于所述电极层远离所述基体一侧； 土堤，所述土堤位于所述电极层远离所述基体一侧，且所述土堤围绕所述介质层设置； 其中，至少部分所述土堤在远离所述基体一侧的表面上设置有导槽。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人昆山龙腾光电股份有限公司，其通讯地址为：215301 江苏省苏州市昆山开发区龙腾路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号