新硅能微电子(苏州)有限公司孙磊获国家专利权
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龙图腾网获悉新硅能微电子(苏州)有限公司申请的专利半导体IGBT器件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223094109U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422158930.1,技术领域涉及:H10D12/00;该实用新型半导体IGBT器件是由孙磊;陈译;陆佳顺;杨洁雯设计研发完成,并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体IGBT器件在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种半导体IGBT器件,包括:硅片、位于硅片上部的P阱区和位于P阱区下方的N型轻掺杂漂移层,一位于硅片下部的P型重掺杂集电区与N型轻掺杂漂移层之间设置有一N型电场阻止层;位于P阱区内的第一沟槽、第二沟槽分别延伸至所述N型轻掺杂漂移层内;位于第一沟槽、第二沟槽周边分别具有一第一N型重掺杂发射极区、第二N型重掺杂发射极区,一N型重掺杂中间层位于第一沟槽、第二沟槽之间,所述N型重掺杂中间层位于P阱区底部与N型轻掺杂漂移层之间。本实用新型半导体IGBT器件降低了IGBT器件工作时候的导通压降,从而降低了功率损耗和产生的热量,提高了IGBT器件的可靠性。
本实用新型半导体IGBT器件在权利要求书中公布了:1.一种半导体IGBT器件,其特征在于:包括:硅片(1)、位于硅片(1)上部的P阱区(2)和位于P阱区(2)下方的N型轻掺杂漂移层(3),一位于硅片(1)下部的P型重掺杂集电区(4)与N型轻掺杂漂移层(3)之间设置有一N型电场阻止层(5); 位于P阱区(2)内的第一沟槽(61)、第二沟槽(62)分别延伸至所述N型轻掺杂漂移层(3)内,所述第一沟槽(61)、第二沟槽(62)内分别具有第一导电多晶硅(71)、第二导电多晶硅(72),此第一导电多晶硅(71)、第二导电多晶硅(72)分别与第一沟槽(61)、第二沟槽(62)各自内壁之间分别具有第一氧化层(81)、第二氧化层(82); 位于第一沟槽(61)、第二沟槽(62)周边分别具有一第一N型重掺杂发射极区(91)、第二N型重掺杂发射极区(92),一N型重掺杂中间层(11)位于第一沟槽(61)、第二沟槽(62)之间,所述N型重掺杂中间层(11)位于P阱区(2)底部与N型轻掺杂漂移层(3)之间; 所述第一导电多晶硅(71)、第二导电多晶硅(72)各自上表面分别覆盖有第一介质层(101)、第二介质层(102),一发射极金属层(12)覆盖于第一N型重掺杂发射极区(91)、第二N型重掺杂发射极区(92)和位于第一N型重掺杂发射极区(91)、第二N型重掺杂发射极区(92)之间的P阱区(2)各自的上表面,一集电极金属层(13)覆盖于P型重掺杂集电区(4)与N型电场阻止层(5)相背的表面。
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